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スペーシア™軸受


用途例

スペーシア™軸受は各種用途に実用化されています。
具体的な使用例を示しますので、参考にして下さい。

真空蒸着装置
  真空用軸受350℃対応・YSタイプ軸受のレンズ真空蒸着装置での使用例です。
従来軸受に対して十分な耐久性が得られるようになりました。
 
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真空用ロボット
  真空・クリーン適用のNシリーズ インチ系薄肉玉軸受のシリコンウェハ搬送ロボット関節部での使用例です。  
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スパッタリング用搬送装置
  クリーン潤滑剤・V-DFO軸受の実用例です。従来軸受に対して、よりクリーンかつ長寿命が実現しています。  
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液晶パネル洗浄装置
  高耐食樹脂軸受 アクアベアリング™の液晶パネル洗浄装置での使用例です。従来品に対して画期的な耐久性向上が得られるようになりました。  
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シリコンウェハ洗浄装置
  ふっ素系自己潤滑保持器軸受のシリコンウェハ洗浄装置での使用例です。他にもハードディスク洗浄機にも使用されています。  
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ウェハポリシング装置(CMP装置)
  オールセラミック軸受の採用により、シリコンウェハポリシング装置での耐久性向上が実現されています。  
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クリーニング装置
  フィルムのクリーニング装置などの厳しい薬液中の搬送では、オールセラミック軸受(炭化物系)により長期化にわたりスムーズな回転を可能にしました。  
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炉内コンベア
  SJタイプ高温用固体潤滑軸受は、フラットパネル等の焼成搬送装置で長期にわたり円滑な回転を実現しています。  
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清涼飲料用無菌充填機
  殺菌やリンスなどの薬液による厳しい腐食環境になる清涼飲料水用無菌充填機では、耐食被膜軸受により長期のメンテナンスがフリーが実現されました。  
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ガラスびん製造機用搬送装置
  高温かつ腐食が厳しいガラスびん製造の搬送工程で、耐食被膜軸受が優れた性能を示しています。  
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原材料製造装置
  食料品材料のスチーム洗浄(殺菌)で、ハイブリッド軸受の採用により耐久性延長が実現しています。  
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穀物用乾燥機
  ルブガード®ベアリングは、穀物用乾燥機などの粉塵環境で、大幅なメンテナンス期間延長に寄与しています。  
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