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| メガトルクモータ
高分解能仕様 |
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| 特長 |
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- 高分解能200万分割メガトルクモータ
- バリアブルリアクタンス（VR）型多極レゾルバの特長
- VR型多極レゾルバの高分解能化
最近、OA機器、通信機器、民生機器等の軽薄短小化にともなう半導体の微細加工のための位置決め高精度化の要求があります。また、半導体ウエハや液晶ガラス基板に代表される被加工物の大型化にともない、ダイレクトドライブモータ（以下DDモータ）の性能向上に関する技術開発の中で、高精度位置決め技術が注目を集めています。大型化した被加工物の周辺部は、従来と同じ精度では位置決め後の精度が不足するからです。
■ 高分解能（約200万分割）で高速回転（1.25rps）
■ ディジタル制御による確実な1パルス送り位置決め制御
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JSBO15型高分解能メガトルクモータ基本仕様
| 項目 |
仕様 |
| モータ最大出力トルク |
15 N・m |
| モータ最高回転数 |
1.25 S-1 |
| モータ回転位置検出器分解能 |
1966080 pulse/r |
| モータ回転位置検出器精度 |
25秒 |
| 繰返し位置決め精度 |
±1.3秒 |
| テーブル上面振れ |
3μm以下 |
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外観 |
●パルス送り位置決めテスト
- JSBO15型モータに長さ140mmのアームを取り付け、検出器分解能の1パルスずつ、30パルス分の位置決めを行いながらアーム先端とギャップセンサの距離の測定を行い、ギャップセンサからの出力をグラフに表しました。
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30パルス送り時のギャプセンサ出力
２π・140mm・30パルス／1966080
＝13.4μｍ
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テスト結果のグラフ
位置検出器として一般に普及している光学式エンコーダは、汎用ACサーボモータ等では実績があリますが、DDモータで必要とされる高精度、高分解能品はコスト的、及び耐環境性の点で問題となる場合があります。メガトルクモータ（NSK
DDモータ）で採用しているVR型多極レゾルバは、以下のような特長を持ち、かつ、高分解能化も比較的容易に達成出来る利点がある位置検出器です。
| (1) |
モータの極数と同じ極数を持つ多極構造なので電気角内の絶対位置が確定し、コミュテーション（モータの転流制御）が容易 |
| (2) |
モータ本体と一体構造なので、カップリング、連結機構が不要（バックラシュ等がなく高精度） |
| (3) |
振動、温度、オイルミストなどの影響を受け難く信頼性が高い |
VR型多極レゾルバの高分解能化としては、RDC（レゾルバ信号処理回路）の分解能を上げる方法が効果も高く、モータ形状の変更が不要であるという利点があリます。現在ＮＳＫでは約200万分解能のレゾルバ位置検出回路を製品化しています。
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