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| メガスラストモータ
PMシリーズ |
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特長 |
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 長ストローク- 高速での推力特性向上
- 低騒音
半導体製造装置などの製造設備においては、ニーズの多様化により少量多品種生産が求められ、製造装置を従来のバッチ式から枚葉式に変え、フレキシブルな製造ラインで生産性を向上させることが進められています。ワークを多数の装置でそれぞれ処理するため搬送系には高速・高推力化が要求され、搬送ストロークもワーク処理の多プロセス化に伴い長ストローク化が求められています。
モータ固定部ベースを継ぎ合わせることにより（継方式）ニーズに合わせて柔軟にストローク対応することが出来ます。最大30ｍのベース長まで対応可能です。ボールねじ駆動機構が原理的に持っている、危険速度を考慮する必要がありませんので、長ストロークでも高速動作が可能です。
メガスラストモータ ＰＭシリーズは、永久磁石を使用することにより、高推力を高速域まで維持できます。また、これにより長ストロークの使用においても高速（2m/s）・高加減速・高精度（繰返し位置決め精度土1μm）の位置決め性能を実現しています。
NSK S1シリーズ™精密リニアガイドの採用で高速域まで低騒音で高推力を出すことが出来ます。磁石の発生する磁束に電流を鎖交させて発生する推力を利用しているため、吸引力の変化による騒音を低く押さえています。
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