高耐食・非磁性ステンレスESA軸受

• ESA軸受は”オーステナイト系ステンレス＋表面硬化層”の組み合わせにより高硬度、高耐食、非磁性を実現した軸受です。
• 大気〜真空の耐食環境および非磁性環境に適します。

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特長

• ふっ素系固体潤滑(グリースフリー)
• 高硬度・高耐食のステンレスSUS440Cより高耐食、高耐食

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製品仕様

構造	開放形のみ
仕様	外内輪	オーステナイト系ステンレス鋼＋表面硬化層
	玉	窒化ケイ素セラミックス
	保持器	ふっ素樹脂
	潤滑	固体潤滑

用途	耐食環境/洗浄機(エッチング装置以外)、非磁性環境/ 電子ビーム描画装置、電子ビーム露光機、検査機